Техническая механика микросистем — Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики. Рассмотрены современные конструкции микрогироскопов и акселерометров, микрозеркала, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам. Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлениям (специальностям) «Микросистемная техника» и «Микроэлектроника и твердотельная электроника». Пособие также может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся проектированием и разработкой микросистемной техники.
Название: Техническая механика микросистем Автор: Тимофеев В. Н., Погалов А. И., Угольников С. В. и др. Издательство: Бином. ЛЗ Год: 2015 Страниц: 178 Формат: PDF Размер: 11,06 МБ ISBN: 978-5-9963-3001-0 Качество: Отличное
